半导体无尘车间粒子计数器的工作原理及应用分类

集成电路（芯片）在电子学中是一种将电路（主要包括半导体设备，也包括被动组件等）小型化的方式，并时常制造在半导体晶圆表面上，它是具有战略地位的产品和技术，自从前段时间爆发出“中兴事件”以来，众多中国人才真正开始意识到了芯片的重要性，同时也知道了原来我们国家的芯片行业有多么的脆弱。

以制造为主的芯片下游，是我国集成电路产业最薄弱的环节。由于工艺复杂，芯片制造涉及到从学界到产业界在材料、工程、物理、化学、光学等方面的长期积累，这些短板短期内难以补足。以往只要在整体产值上领先就可以称之为芯片强国，不过如今游戏规则已经改变，光是产值已经没有用，在每一个环节都有拥有优势才能立于不败之地。

在微电子行业的芯片生产过程中，对微粒的控制要达到分子级，否则生产就无法进行，或者生产出次品；在抗菌素的生产环境中，如果存在某些微生物，生产就不能正常进行。为了减少室内污染对生产过程的影响，就必须通过洁净技术来改善或解决室内污染问题。可以肯定，在普通的生产车间想要控制整个微环境的悬浮粒子浓度，使其达到工艺要求的洁净程度是完全不可能的。

只有建造洁净室，采用密闭的结构，合理的气流组织及合理的压差，才能使其微环境内达到所要求的空气洁净度，满足生产要求。无尘室对生产过程产生重要影响室内生产环境是制约工业生产，特别是高科技生产能否进行的关键因素之一；洁净室的发展与现代工业、尖端技术密切相关。由于精密机械行业的环境要求(如陀螺仪、微型轴承)、半导体行业(如大规模集成电路生产)，洁净室技术的发展得到了推动。

无尘车间即无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。主要应用于电子、半导体、食品、印刷包装等行业等行业。随着社会的发展越来越多的行业也需要无尘车间净化工程。

粒子计数器的工作原理及应用分类

CW一RPC系列远程激光尘埃粒子计数器是赛纳威研发的智能多点监控系统的终端设备，可以通过RJ45网络接口、WiFi、485 (moudbus）等，将数据传输给PC终端，为用户提供实时准确的车间微粒数量和净化等级。该粒子计数器按照国际标准IS014644-1，GMP和日本工业标准(JIS）要求标定，其计数效率和准确性满足JJF1190-2008《尘埃粒子计数器》校准依据，专业应用于电子行业、制药车间、食品、药品车间、半导体、光学或精密机械加工车间等洁净环境；用户可根据需要增加或减少控制终端，可实现7*24实时远程自动监测，有助于企业提升自动化、精细化管理。

粒子计数器设备分落散布在车间各监控点位，由安装了系统监控软件的主控电脑控制各采集点的工作状态；监控软件可选择设定测试粒径、测试时间、采样间隔、刷新频率、显示单位、采样模式和超限报警等，并可对测试历史数据按需求进行查询、统计、分析及绘制曲线图，并可提供moudbus485通讯协议对接用户物联网平台，供用户自行开发和应用。

粒子计数器的原理及分类

粒子计数器是一种利用光的散射原理进行尘粒计数的仪器。光散射和微粒大小、光波波长、微粒折射率及微粒对光的吸收特性等因素有关。但是就散射光强度和微粒大小而言，有一个基本规律，就是微粒散射光的强度随微粒的表面积增加而增大。这样一定流量的含尘气体通过一束强光，使粒子发射出散射光，经过聚光透镜投射到光电倍增管上，将光脉冲变为电脉冲，由脉冲数求得颗粒数。根据粒子散射光的强度与粒径的函数关系得出粒子直径。这样只要测定散射光的强度就可推知微粒的大小，就是光散射式粒子计数器的基本原理。

尘埃粒子计数器是用来测量空气中微粒的数量及大小的仪器，从而评定为空气洁净度。粒子计数器根据不同的划分标准，粒子计数器的分类。其分类也是不同的。粒子计数器从原理上可分为四大类：

（1）根据测试原理分：散射光法测试（白光、激光）、显微镜法测试、称重法测试、DMA法测试（粒径分析仪）、惯性法测试、扩散法测试、凝聚核法测试（CNC）等。

（2）按流量分：小流量，大流量。

（3）按形状、体积大小分：手持式、台式、在线式

（4）按测试通道分：单通道（只测某一种粒子径），双通道（测试某两种粒子径），多通道（测试多种粒子径）。

常用的粒子计数器

尘埃粒子计数器的价格比较昂贵，如果损坏返厂修理的话不仅会浪费我们大量的时间和金钱，还会导致我们的工作暂停影响工作进度。今天，赛纳威就来告诉您使用尘埃粒子计数器的注意事项，减小设备损坏的可能性。

1.首先自净。尘埃粒子计数器操作前，应按要求先进行自净。

2.检查进口管。当进口管被盖住或被堵塞，不要发动计数仪，防止损坏真空泵。

3.确认有无高压减压设备。在没有高压减压设备，不要取样压缩空气，所有的颗粒计数仪都应该在一个大气压下操作。

4.预计产生的混合气体。防止计量有可能产生反应的混合气体（如氢气和氧气），这些气体可能在计数器内产生爆炸。

5.保持洁净度。尘埃粒子计数器操作时应保持周边环境的洁净度，以减小对激光传感器的损伤。

6.防止液体进入传感器。水、溶液或其他液体都不能从进口管进入传感器。

7.配备打印机注意事项。粒子计数器操作过程中假如需要外置打印机或衔接外接温湿度传感器，需先封闭计数器；当执行打印操作时，打印机上须有打印纸，否刚会损伤打印头。

8.轻拿轻放，爱惜设备。粒子计数器在操作过程中就留意轻拿轻放，防止仪器损坏。

空气粒子计数器是测试空气尘埃粒子颗粒的粒径及其分布的专用仪器，由显微镜发展而来，经历了显微镜、沉降管、沉降仪、离心沉降仪、颗粒计数器、激光空气粒子计数器、PCS纳米激光空气粒子计数器的过程，其中因激光空气粒子计数器测试速度快、动态分布宽、不受人为影响等各方面的优势，而成为近年来很多行业的主流产品。