认识一下热式气体质量流量控制器和质量流量计

专注于流量传感器、质量流量计、质量流量控制器的研发和使用。热式气体质量流量计（MFM）多用于气密性测试、气体检测仪、空气检测、半导体设备等气体流量检测行业和生产。热式气体质量流量控制器（MFC）多用于气体动态配比装置、环境检测、真空镀膜、航空航天、光伏行业、精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、食品及制药产业、气相色谱仪等相关行业。

松盛流量计

一般的气体质量流量计和流量控制器是在20℃，1个大气压条件下标定的，主要是指气体在1分钟的体积流量单位。热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的质量流量成正比。它是气体流量计量中新型仪表，不需要进行压力和温度修正是区别于其它气体流量计重要指标，能直接测量气体的质量流量，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。可用于控制一般的腐蚀性气体，正常使用时应保证进出气两端的压差在技术指标范围之内，低于或高于正常工作压差都可导致气体质量流量控制器无法正常使用。