微机械传感器(MEMS)传感器

微型化是传感器技术的主要发展方向之一，也是科学技术的发展以及社会的发展对传感器的要求。微电子机械系统( Micro Electro - Mechanical System ， MEMS )技术的发展是微机械传感器产生的最直接的动力。许多专家都认为MEMS技术将掀起下一-次工业革命，微机械传感器是目前最为成功、最具有实用性的MEMS装置。

与“普通的”或“常规的"传感器相比，微机械传感器不仅仅只是在尺寸上按比例缩小。微机械传感器在材料、加工方式应用范围等方面，与传统的传感器都有很大的不同。综合各种文献得出，微机械传感器包括3个层面的含义。

(1)微机械传感器指的是单一的传感器。 这类传感器的一个显著特点就是尺寸小。在加工中，主要采用精密加工、微电子技术以及MEMS技术，使得传感器的尺寸大大减小。

(2)微机械传感器也指一个集成的传感器。这类传感器将微小的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封装在一块芯片上，形成集成的传感器。

(3)微机械传感器，指传感器系统。在这种系统中，不但包括传感器，还包括微执行器，可以独立工作。此外，还可以由多个微机械传感器组成传感器网络或者通过其他网络实现异地联网。

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