经验分享：真空检漏的一些辅助设备

1、 充氦充氮氟油检漏平台

充氦充氮氟油检漏平台是对半导体器件进行密封性、可靠性粗检漏的专用设备，它与氦质谱检漏仪配套使用，完成GJBI128A-97国家标准和GJB548-96军用标准中，对半导体器件零件进行氦加压精检漏和充高压氟油粗检漏要求。

此平台的工作过程是：

1、氦精检漏实验，将半导体零件或器件置于高压容器中，按国家标准中的规定，根据被检件的体积大小，施加不同的压力和氦气，保持不同时间，减压后把被检件从容器中取出来，在氦质谱检漏仪上检漏，根据漏率值判断是否合格。

2、粗检漏实验，将精检漏后的被检件放入真空加压罐中抽真空，注入一定量的氟油，再保压一定时间，放空取出后，放入专门加温的氟油中,根据有无气泡判断是否合格。全过程连贯进行，操作简单,安全可靠,工作环境清洁。

2、多工位高真空排气检漏台

多工位氦质谱检漏高真空排气检漏装置适用于工业领域高压开关管、微波发射管等要求大批量、多品种、高灵敏度、快速检漏产品的检漏设备。

该系统由检漏仪和检漏平台两部分组成，检漏仪用于判断工件是否泄漏;检漏平台对工件进行真空预抽，检漏平台有左右两组相互独立的检测工位，每组工位设置了1-3个检测接口;一组工位抽真空的同时，另一组工位进行检测或装卸工件，缩短了检测周期，提高了工作效率。由可编程工业控制器(PLC)对检测全过程进行自动控制，保证了系统的稳定性、可靠性，操作十分简单，方便了使用者。

主要技术指标和参数：

1、电源: 220V 12A

2、真空度:5×10-3 Pa·m3/S

3、工作节拍空载:20S/拍

4、启动时间:<10min

5、响应时间: <5S

6、压缩空气: 5～6kg

7、环境温度: 5～35℃

8、空气相对湿度: <80

9、工作环境附近无强磁场、无剧烈震动、无腐蚀性气体;室内通良好，以避免氦气干拢。