用于光学表面测量的量具

快速表征测量仪器的二维传递函数

来源：PTB 新闻

主要适用于以下领域：

光学行业

表面计量

显微镜技术

光学测量装置对表面形貌的测量响应可以用仪器传递函数 (ITF) 来描述。德国联邦物理技术研究院（PTB）开发了一种新的量具来表征光学测量仪器的二维仪器传递函数 (2D-ITF)。这种量具非常灵活且易于使用。此外，它显示出较高的再现性和鲁棒性。

光学表面形貌计量工具通常用于精密表面的非接触式和快速测量，例如 X 射线或光刻设备的光学反射镜。然而，使用这类工具通常会引发光学测量中的一个基本问题，“我们得到正确答案了吗？”

具有圆形啁啾图案的量具（剖面图：结构的 3D 视图）

为了回答这个具有挑战性的问题，PTB 与 蔡司-SMT 合作开发了一种新的量具来表征这个3D-栈欧洲计量创新与研究计划（EMPIR）项目范围内的平面表面形貌测量工具的二维仪器传递函数（2D-ITF）。此外，这个新标准具有圆形结构图案。这种旋转对称图案有利于表征不同角度方向的仪器传递函数（ITF），即，用于研究测量仪器的角度各向异性。设计实现了三种不同的图案：圆形阶梯图案、间距连续变化的圆形啁啾图案以及圆形离散光栅图案。这样的设计旨在以互补的方式表示三种用于 ITF 表征的空间信号。这些图案的半径范围为 30μm至 300μm，波长范围为 0.1μm至 150μm。它们可以组合起来以满足具有不同带宽特性和视场的各种仪器的测量要求。因此，这种量具的设计非常灵活，适用于各种应用。

除了量具外，研究人员还开发了用于校准过程和后续数据评估的软件。综合运用这些工具，就可以在几分钟内很方便地表征光学表面测量设备的二维仪器传递函数（2D-ITF）。新开发的方法在 PTB 的工业合作伙伴中得到了应用，并显示出较高的重复性和鲁棒性的优势，同时还有出色的灵活性和易用性。

——编译：曹歆

小编叨叨

号外号外！！计量测控推出全新版块——海外聚焦，我们定期翻译整理计量检测相关的海外科技动态、文献资料，欢迎读者参考交流！

联系人：李莉萍

邮箱：liliping@jlck.cn

微信：liliping304