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稳定、高效的AMHS将成为半导体工厂的“必选项”

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随着半导体产线生产工艺流程越来越复杂,产线设备间的传统物料搬运方式,已经成为制约生产效率和生产质量的瓶颈。为此,AMHS自动物料搬运系统应运而生,在半导体晶圆制造环节的应用开始逐渐普及。


AMHS系统的特点与应用价值主要体现在:高可靠性、高自动化与信息化、高效率、高度灵活性与可扩展性。格创东智认为,随着半导体技术的持续演进,晶圆的尺寸不断增大,使得半导体工厂对于自动化和信息化技术要求越来越高。因此从中长期来看,新建的半导体工厂会将AMHS作为“必选项”,对AMHS的需求主要体现在高度自动化、智能化、信息化,具备高可靠性和高安全性,同时具备一定的灵活性和可扩展性,以减少对人的依赖,提高整个生产机台的使用率和库存周转率。


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以OHT系统为核心的洁净室AMHS整体解决方案,其最大优势在于效率非常高,并且主要布局都在空中,不会占用地面。因为无尘车间可谓“寸土寸金”,OHT系统的应用可以释放更多的空间布局,用于增加机台设备扩充产能。但在某些工艺段,比如需要干湿工艺,或者兼具高柔性、高精度的场景应用需求等,未必适合使用天车,需要考虑AGV等设备的组合应用。


同时,值得关注的还有智能调度系统,这也是目前国内AMHS厂商着力开拓的领域。对于AMHS而言,如何实现调度系统和MCS(物料控制系统)快速响应生产的波峰和波谷,契合生产工艺的调整,是AMHS厂商未来需要着力突破的重点。


另外,还可以结合数据化和信息化做进一步蔓延。目前越来越多的业主方十分重视对生产数据的挖掘和分析,目的是了解生产过程的每一个环节,发现潜在问题并提出改进措施。这项工作对于AMHS而言同样会带来很大价值。比如,可以通过分析物料搬运的节拍、周转情况和机台使用率等,优化工艺布局、设备配置及调度策略。


格创东智AMHS应用创新

稳定性和高效性是AMHS系统性能的重要指标。针对这两项指标,格创东智将自身在预防性维护和能源消耗管理方面的既有优势引入AMHS解决方案中。


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1、设备故障侦测与分类系统(FDC)

实时收集设备生产过程中的状态数据以及工艺参数,通过监控模型实现对生产过程的失效模式的侦测和智能分析。该应用可以对AMHS进行预防和预测性维护,利用物联网技术和AMHS收集物料转移信息做出判定。通过AI建设模型,帮助使用方运维团队减少停线,增强物流线体和自动化产线的鲁棒性,帮助半导体工厂提高生产设备的效率和可靠性,实现极致良率、极致效率、极致成本的发展目标。


2、智慧能源管理系统(EMS

半导体工厂是高能耗行业之一,能耗主要来自制造设备和通风空调系统。我们基于对历史数据的分析,发现其中存在一定的冗余空间。比如半导体工厂的洁净车间需要保持一定湿度和温度,但通风空调设备的开启和停止控制其实有很大的空间值得挖掘。AMHS中的设备应用也是如此,我们可以将整个物料信息化和所有机台设备信息化系统打通,结合AI算法为客户提供何时开/关的最优能源管理,帮助其减少能源消耗和碳排放,进而实现节能减排降耗增效的生产发展效果。

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